用途別紹介

SAWデバイス(LN)用基板 お問い合わせフォームへ
SAWデバイス(LN)用基板
用途SAWデバイス(LN)用基板
圧電性と呼ばれる性能が非常に大きく、電気を印加すると伸縮し応力を加えると電気を生ずる。この特性を利用してSAWフィルターとして用いられる。
 
加工ウェハ加工
外径は主に3インチ、4インチがあり、高精度な面精度、オリフラ精度、端面加工精度が可能。
主面方位は128Y、64Y、Yカット他 幅広い対応が可能。
 
研磨片面研磨
SAWフィルター用基板の特徴であるウェハ裏面からのノイズ(スプリアス)を防ぐ為に片面鏡面研磨が主流。コロイダルシリカでのメカノケミカルポリッシュで鏡面粗度は数十nmと非常に優れている。
裏面の粗度は、Ra=0.1μm〜4μmと幅広く加工可能。
厚さは200μm〜1mmと幅広く高精度な平行度、平坦度が特徴。
 
対応素材ニオブ酸リチウム(LN)
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ローパスフィルター用角板 お問い合わせフォームへ
ローパスフィルター用角板 用途ローパスフィルター用角板
LNは複屈折が大きい。複屈折とは、常光線屈折率と異常光線屈折率の差をいう。
LNの複屈折は水晶の10倍あり、ローパスフィルターの厚みを薄くできる特徴があるため、交換レンズ等を用いたカメラに用いられる。
 
加工角板加工
形状は角板が主流で、サイズ・厚さは任意対応可能です。
 
研磨角板両面研磨
角状の両面鏡面研磨。光用途の特徴である高精度な平坦性、平行性の研磨加工。
 
対応素材ニオブ酸リチウム(LN)
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ジャイロセンサー素子用基板 お問い合わせフォームへ
用途ジャイロセンサー素子用基板
圧電性と呼ばれる性能が非常に大きく、電気を印加すると伸縮し応力を加えると電気を生ずる。この特性を利用して周波数による角度制御を行うジャイロセンサ−として用いられる。
 
加工ウェハ加工
主流は3インチ、4インチのウェハ形状であり、主面方位・厚さは任意対応可能。
 
研磨両面ラップ・両面研磨
両面ラップ・両面研磨が可能。
 
対応素材ニオブ酸リチウム(LN)
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光導波路用基板 お問い合わせフォームへ
用途光導波路用基板
基板表面にTi拡散もしくはプロトン交換により光導波路を作成し、光デバイス用の基板に用いられ、高品位結晶、高精度研磨が特徴。
 
加工ウェハ加工
主流は3インチ、4インチがウェハの形状であり、サイズ・厚さ・主面方位は任意対応可能。結晶方位はZ方位、X方位が多い。
 
研磨両面、片面研磨
片面研磨、両面研磨の選択が可能。
研磨は導波路作成に最適なメカノケミカル研磨を採用。
 
光導波路用基板:トポ写真 その他
ご要求に応じ結晶品質評価としてX線トポグラフィ−写真添付。
 
対応素材ニオブ酸リチウム(LN)
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SHG用基板(ドープLN) お問い合わせフォームへ
用途SHG用基板(ドープLN)
第2次高調波(SHG)の特性を利用し、導入光の半分の長さの波長の光を放出する材料として用いられる。変換後の出力を大きくする為に、結晶の光損傷が問題となる場合が多い。MgOやZnOのドープLNが多く使用される。高濃度のドープが可能。
 
加工ウェハ加工
基板としては、3インチが主流で面方位はZ方位が多い。
 
研磨両面、片面研磨
片面研磨、両面研磨が可能。
研磨は導波路作成用に開発したメカノケミカル研磨で低歪の高品位、高精度の研磨が特徴。
 
対応素材ニオブ酸リチウム(LN)
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エピ用基板 お問い合わせフォームへ
エピ用基板 用途エピ用基板
エピ用基板に必要な格子定数を設定した結晶基板。
 
加工ウェハ加工
外径は2インチ、3インチがある。主面方位・オリフラ方位は任意対応可能。
 
研磨両面研磨
両面鏡面研磨が主流。光用途の特徴である高精度な平坦性、平行性の研磨が可能。
 
その他
必要に応じ、格子定数を測定。
 
対応素材ガーネット
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